真空測量是真空技術(shù)中的一個重要組成部分。用于測量真空度的儀器稱為真空計(jì)。 真空熱處理爐及真空熔煉爐常用的真空計(jì)有：熱偶真空計(jì)電離真空計(jì)等。它們的工作原理如下： （一）熱偶真空計(jì)
熱偶真空計(jì)由敏感元件、熱偶規(guī)管和測量儀器組成。熱偶規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通，外殼為玻璃管，管內(nèi)有加熱絲
和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時，由于溫差效應(yīng)，在回路中有熱電勢產(chǎn)生。如加熱絲電壓保持恒定，則熱偶絲
的電勢限決于加熱絲的溫度，而加熱絲的溫度與被測氣體的壓強(qiáng)有關(guān)。壓強(qiáng)低，氣體熱導(dǎo)率小，被氣體帶走的熱量少，加
熱絲溫度升高，熱偶絲的熱電勢增大；反之，則熱電勢減少。回路中的熱電勢用毫伏表測量，表中的毫伏數(shù)即反映出真空
度的高低。為了保證加熱絲的電壓穩(wěn)定，而接入了穩(wěn)壓電源。所以測量儀器是由測量熱電勢的毫伏表和規(guī)管加熱絲穩(wěn)壓電
源兩部分組成。
（二）電離真空計(jì)
這種真空計(jì)主要用于測量高真空度。在低壓強(qiáng)氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數(shù)與氣體壓強(qiáng)成正比按照離產(chǎn)生
的方法不同，利用熱陰**發(fā)射電子使氣體電離的真空計(jì)叫熱陰**電離真空計(jì)；其中，熱陰**電離真空計(jì)由熱陰**規(guī)管和測
量儀器組成。測量儀器由規(guī)管工作電源、發(fā)射電流穩(wěn)壓器、離子流測量放大器等部分組成。熱陰**電離規(guī)管與被測真空系
統(tǒng)相通。熱陰**電離規(guī)管是一個三**管，管內(nèi)有陰**、柵及和收集**。收集**電位相對于陰**電負(fù)電位；柵**相對于陰**
電正電位。當(dāng)電離規(guī)管通電加熱后，陰**發(fā)射電子，在電子到達(dá)柵**的過程中，與氣體分子碰撞而產(chǎn)生正離子和電子的電
離現(xiàn)象。當(dāng)發(fā)射電流一定時，正離子數(shù)日與被測氣體壓強(qiáng)成正比。正離子被收集**收集后，經(jīng)測量電路放大，可由批示電
表讀出所要測量的真空度。
（三）復(fù)合真空計(jì)
通常，對低真空和高真空的測量不能用一種真空計(jì)來完成，而應(yīng)采用復(fù)合真空計(jì)，應(yīng)用較多的是電離與熱偶式復(fù)合真
空計(jì)。它的測量范圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計(jì)測量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計(jì)測量
133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。復(fù)合真空計(jì)附有一個熱偶規(guī)管、一個電離規(guī)管，分別接在真空系統(tǒng)上，通過旋鈕可分別給兩個規(guī)管加熱，并選擇使用。
